NGF

NGF (Nanometer Thick Graphite Film)

Temperature profile of NGF with IR laser irradiation

The thermal image of the NGF pellicle with 5.1 W/cm2 of IR laser irradiation

NGF는 다른 Si 및 SiNx 와는 다른 높은 방사율을 가지고 있어 우수한 열적특성 (≈ 5000 WmK-1) 을 나타냅니다.
향후 High-NA EUVL 노광 장비의 도입으로 인하여 더욱 주목 받고 있습니다.

  • Raman spectrum of NGF

  • Raman mapping image D/G

  • Histogram of I(D)/I(G)

Nickel 촉매 금속을 사용하여 CVD 공정으로 합성된 NGF는 뛰어난 결정성을 보이며, 탁월한 화학적 안정성 및 열 방출 특성을 가지고 있습니다.

2014년 처음 NGF 개발 이후 NGF의 두께는 14nm(EUV 투과율 92%)까지 조절 가능하며,
2022년 제작된 NGF pellicle은 크기 100 × 100 mm2, EUV 투과율 87.2%을 나타냈습니다.